金相拋光液的性能特點,一看便知
更新時間:2022-12-01 瀏覽次數:1011
金相拋光液是針對不同研磨材料的特性進行*的配方設計,拋光過程中,pH值基本保持不變,從(cong) 而保證拋光速率的穩定,並節約拋光時間。廣泛用於(yu) 多種材料納米級的化學機械拋光。如:藍寶石材料、矽片、不鏽鋼、鋁鎂合金、化合物晶體(ti) 等的拋光加工。
由於(yu) 納米二氧化矽成本相對較低,且具有良好的分散性、機械磨損性,高度度、高附著力、成膜性好、高滲透、高耐候性、高耐磨性等特點,是一種性能優(you) 良的CM P技術用的拋光材料。因而常被用於(yu) 金屬、藍寶石、單晶矽、微晶玻璃、光導攝像管等表麵準確拋光。
金相拋光液的性能特點都有哪些呢?
1、均勻的球形SiO2粒子;可循環使用多次;
2、去除率高,拋光性能穩定;可選用中性或弱酸性拋光液對應。
3、精密的拋光質量,Ra<0.2nm、TTV<3μm;
4、有效減少拋光後的表麵劃傷(shang) ,降低拋光後的表麵粗糙度。
5、適用於(yu) 35℃以下的低溫拋光工藝;
6、高達到高平坦化研磨加工。
7、該拋光液由高純納米二氧化矽複合配置而成,通過高科技術分散成納米顆粒,高含量分散均勻的納米拋光液。
8、拋光速平坦度加工,拋光是利用SiO2等材料的均勻納米粒子,不會(hui) 對加工件造成物理損傷(shang) ,速率快,利用分散均勻大粒徑的膠體(ti) 二氧化矽等粒子達到高速拋光的目的
9、高純度,拋光液不腐蝕設備,使用的安全性能高。
金相拋光液是以高純度矽粉為(wei) 原料,經特殊工藝生產(chan) 的一種高純度低金屬離子型拋光產(chan) 品。本產(chan) 品可用於(yu) 矽晶圓、藍寶石等半導體(ti) 及襯底材料的粗拋和精拋,具有拋光速率高,拋光後易清洗,表麵粗糙度低,能夠得到總厚偏差(TTV)極小的質量表麵。
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