金相顯微鏡是用入射照明來觀察金屬試樣表麵(金相組織)的顯微鏡，它是將光學顯微鏡技術、光電轉換技術、計算機圖像處理技術結合在一起而開發研製成的高科技產(chan) 品，可以在計算機上很方便地觀察金相圖像，從(cong) 而對金相圖譜進行分析，評級等以及對圖片進行輸出、打印。

　　金相顯微鏡是專(zhuan) 門用於(yu) 觀察金屬和礦物等不透明物體(ti) 金相組織的顯微鏡。這些不透明物體(ti) 無法在普通的透射光顯微鏡中觀察，因此金相和普通顯微鏡的主要差別在於(yu) 前者以反射光，而後者以透射光照明。在金相顯微鏡中照明光束從(cong) 物鏡方向射到被觀察物體(ti) 表麵，被物麵反射後再返回物鏡成像。這種反射照明方式也廣泛用於(yu) 集成電路矽片的檢測工作。

　　金相顯微鏡和日立掃描電鏡存在很大的區別，主要有以下幾方麵：

　　一、光源不同：金相顯微鏡采用可見光作為(wei) 光源，日立掃描電鏡采用電子束作為(wei) 光源成像。

　　二、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學成像原理進行成像，日立掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品麵，激發出樣品表麵的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉換成圖像信息。

　　三、分辨率：金相顯微鏡因為(wei) 光的幹涉與(yu) 衍射作用，分辨率隻能局限於(yu) 0.2-0.5um之間。日立掃描電鏡因為(wei) 采用電子束作為(wei) 光源，其分辨率可達到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀察屬於(yu) 微米級分析，日立掃描電鏡的組織觀測屬於(yu) 納米級分析。

　　四、景深：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表麵光滑程度具有高要求，所以製樣過程相對比較複雜。日立掃描電鏡的景深則可達幾毫米。

　　日立掃描電鏡一種新型的電子光學儀(yi) 器。它具有製樣簡單、放大倍數可調範圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數十年來，日立掃描電鏡已廣泛地應用在生物學、醫學、冶金學等學科的領域中，促進了各有關(guan) 學科的發展。

　　日立掃描電鏡（SEM）是介於(yu) 透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表麵材料的物質性能進行微觀成像。日立掃描電鏡的優(you) 點是，①有較高的放大倍數，20-20萬(wan) 倍之間連續可調；②有很大的景深，視野大，成像富有立體(ti) 感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表麵的細微結構；③試樣製備簡單。目前的日立掃描電鏡都配有X射線能譜儀(yi) 裝置，這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀(yi) 器。