ICP-MS全稱是電感耦合等離子體(ti) -質譜法(Inductively coupled plasma-Mass  Spectrometry)它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀(yi) 器，它能同時測定幾十種痕量無機元素，可進行同位素分析、單元素和多元素分析，以及有機物中金屬元素的形態分析。

1、原理

（1）在ICP-MS中，ICP起到離子源的作用，ICP利用在電感線圈上施加強大功率的高頻射頻信號在線圈內(nei) 部形成高溫等離子體(ti) ，並通過氣體(ti) 的推動，保證了等離子體(ti) 的平衡和持續電離，被分析樣品由蠕動泵送入霧化器形成氣溶膠，由載氣帶入等離子體(ti) 焰炬中心區，發生蒸發、分解、激發和電離。高溫的等離子體(ti) 使大多數樣品中的元素都電離出一個(ge) 電子而形成了一價(jia) 正離子。

（2）通過ICP-MS的接口將等離子體(ti) 中的離子有效傳(chuan) 輸到質譜儀(yi) ；

（3）質譜是一個(ge) 質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個(ge) 離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。

2、結構

（1）電感耦合等離子體(ti) ：樣品引入係統；離子源

（2）接口：采樣錐；截取錐

（3）質譜：離子透鏡係統；四級杆離子過濾器；檢測器

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