Verioses SEM提供了研究應用所需的靈活性，可容納大型樣品，例如整片晶圓或冶金樣品。Verioses SEM可在1至30 kV能量範圍內(nei) 以亞(ya) 納米級分辨率提供精確的成像。它提供了在各種應用中對材料進行精確測量所需的出色對比度，而又不影響傳(chuan) 統SEM的高通量，分析能力，樣品靈活性和易用性。Verioses SEM具有*的技術，例如用於(yu) 提高熱穩定性的定焦鏡和用於(yu) 更高偏轉線性的靜電掃描。在選擇參數，處理大型樣品或支持其他應用程序（例如分析或光刻）時，它非常靈活。利用Verioses XHR SEM，偶爾的用戶和專(zhuan) 家都可以在短的時間內(nei) 訪問準確而完整的納米級數據。

產(chan) 品特點

∙ 使用Elstar™單色儀(yi) 以及優(you) 化的光學器件和檢測功能，可以在您的樣品要求的操作條件下獲得準確，真實的納米級信息：對於(yu) 非導電樣品，其值為(wei) 500 eV及以下；對於(yu) 光束敏感樣品，則為(wei) 低劑量操作。

∙ 收集完整的納米級信息：得益於(yu) Elstar*的四重SE / BSE檢測和過濾功能，地形和材料形成了對比，得益於(yu) 我們(men) *的多段STEM技術，在結構上形成對比。

∙ 使用Elstar的精確靜電束偏轉和*進的校準方法，可以依靠遠遠超出普通SEM的精確計量。

∙ 體(ti) 驗快速，精確的樣品管理：容納大型樣品，可控地清潔樣品表麵，以極低的放大倍數快速檢查並導航到感興(xing) 趣的區域。

∙ 使用電子束光刻技術，電子束誘導的材料直接沉積，執行創新且精確的納米加工，並在上下或傾(qing) 斜位置檢查創建的3D結構。

∙ 發現一個(ge) 針對簡單用戶而優(you) 化的平台，它具有簡單而強大的界麵，以及可以依靠儀(yi) 器的靈活性和擴展控件來針對特定實驗精確調整儀(yi) 器的SEM專(zhuan) 家。 

參數

 電子光學器件

Elstar XHR 浸沒透鏡 FESEM 鏡筒

∙ Elstar 電子槍，配有：

  - 肖特基熱場發射體(ti)

  - 熱拔插功能

  - UC 技術（單色儀(yi) ）

∙ 60 度雙物鏡（帶極片保護）

∙ 加熱的物鏡孔隙

∙ 靜電掃描

∙ ConstantPower™ 透鏡技術

源壽命

∙ 電子源壽命：12個(ge) 月

電子束分辨率

（需要現場調查以保證分辨率規格）

∙ 工作距離下的分辨率

  - 30 kV 時為(wei) 0.6 nm (STEM)

  - 15 kV 時為(wei) 0.6 nm

  - 2 kV 時為(wei) 0.6 nm

  - 1 kV 時為(wei) 0.7 nm

  - 500 V 時為(wei) 1.0 nm (ICD)

  - 200 V 時為(wei) 1.2 nm (ICD)

大水平場寬

∙ 電子束：在 4 mm 工作距離下大於(yu) 2.0 mm

實際到達能量範圍

∙ 20 eV - 30 keV

探針電流

∙ 電子束：0.8 pA - 100 nA

真空係統

∙ 1 x 210 l/s TMP

∙ 1 x PVP（幹式泵）

∙ 2 x IGP

∙ 樣品倉(cang) 真空：< 2.6 * 10-6 mbar（24小時抽氣後）

探測器

∙ Elstar 透鏡內(nei) SE 探測器 (TLD-SE)

∙ Elstar 透鏡內(nei) BSE 探測器 (TLD-BSE)

∙ Elstar 鏡筒內(nei) SE 探測器 (ICD)

∙ Elstar 鏡筒內(nei) BSE 探測器 (MD)

∙ Everhart-Thornley SE 探測器 (ETD)

∙ 用於(yu) 查看樣品/鏡筒的 IR 攝像頭

∙ 安裝在樣品倉(cang) 的 Nav-Cam+™

∙ 伸縮式低壓、高襯度固態背散射電子探測器 (DBS)

∙ 帶有 BF/DF/HAADF 分段的伸縮式

STEM 探測器*

∙ 集成電子束電流測量

樣品倉(cang)

∙ 4 mm 工作距離下的電子束和EDS 重合點

∙ 21 個(ge) 端口

超高精度 5 軸壓電式電動載物台

∙ X、Y = 100 mm

∙ Z ≥ 20 mm

∙ T = - 10°至 + 60°

∙ R = n x 360°行程

∙ X、Y 可重複性 0.5μm

∙ X、Y 準確度 < 1.5μm，85% 容差區間

∙ 機械式傾(qing) 斜共心載物台，傾(qing) 斜角度為(wei)  0°到 52°時圖像移動小於(yu) 5μm

∙ 中心旋轉和傾(qing) 斜

樣品尺寸

∙ 大尺寸：直徑 100 mm，旋轉

∙ 大樣品厚度（通過裝載鎖）：19 mm（含支架）

∙ 大樣品厚度（通過樣品倉(cang) 門）：27.8 mm（含樣品支架）

∙ 重量：200g（含支架）

樣品支架

∙ 多樣品台支架

∙ 多樣品切片支架

∙ 單樣品台底座，直接安裝在載物台上

∙ 根據要求提供各種晶圓和定製支架

∙ 配備 -50V至-4 kV 的載物台偏置的電子束減速

∙ 集成的快速電子束熄滅裝置

圖像處理器

∙ 駐留時間範圍為(wei)  0.025 到25000 μs/像素

∙  6144 x 4096 像素

∙ 文件類型：TIFF（8、16、24 位）、BMP或JPEG

∙ 單幀或四象限圖像顯示

∙ SmartSCAN（256 幀平均或積分、線積分和平均法、隔行掃描）和DCFI（漂移補償(chang) 幀積分）

係統控製

∙ 32位GUI（使用 Windows® XP）、鍵盤、光電鼠標

∙ 兩(liang) 台 24 英寸寬屏 LCD 顯示屏，WUXGA 1,920 x 1,200像素

∙ 顯微鏡控製和支持計算機無縫共用一個(ge) 鍵盤和鼠標

∙ 操縱杆

∙ 多功能控製台

∙ 遠程控製

• TL-2500實驗室液相色譜流動相加熱裝置
• 實驗室轉矩流變儀
• 粉末雜質（離線）分析儀器HF-260/HPE01108
• 粉末雜質（在線）分析儀HF-230/HPE01107
• 魚眼檢測儀HF-390/HPE01109
• WGE000030細胞培養低速攪拌器 （ 一體式 ）
• TFE000024Summit 傅立葉變換顯微紅外光譜儀
• TFE000019傅立葉變換紅外光譜儀